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光电离检测器或传感器由被某种短波长紫外灯（UV）光源照射的充满气体样品的元件和一组电极组成。其中电极具有电势。UV紫外灯光源电离有机化合物，使电子喷射形成带有正电荷的分子。电子和正离子在电位差下被推进到电极上，产生的电流与气体或蒸汽浓度成正比。一般来说，任何电离能（IE）低于灯光子的化合物都能被电离和测量。
PID或传感器的核心是一盏在真空-紫外区域发射光子的灯。该灯由封闭玻璃管，附着在玻璃管上的晶体窗和填充在封闭管中的气体组成。光子的能量取决于用来填充灯的气体类型，以及用作传输窗口的晶体。
| 灯能量（eV） | 10.6 |
| 测量级别 | ppb和ppm |
| 尺寸（长度*直径，mm） | 41.0x12.6 |
| 激发方式 | 射频，电磁场驱动灯 |
| 触发电压（V） | >1800 |
| 触发时间（ms） | 100 |
| 工作电流（mA） | 100-200 |
| 典型射频输入功率（W） | 0.6 |
